硅晶圆与芯片制造 | AI生成和翻译
问题: 在芯片制造中,什么是晶圆?
答案:
晶圆是超纯单晶硅制成的薄圆形切片,作为制造集成电路的基底。它就像一块”画布”——从M2芯片的核心到MI300X的计算核心,你所使用过的每一颗芯片(die)最初都是晶圆上的一个区域。
从沙子到晶圆(基本原理):
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提纯——石英砂(SiO₂)被还原为冶金级硅,再通过西门子法精炼为电子级硅:纯度达99.9999999%(”9N”)。杂质浓度至关重要,因为每十亿个原子中哪怕混入一个外来原子,都会改变载流子浓度,而晶体管的行为完全依赖于受控的掺杂。
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晶体生长(切克劳斯基法)——多晶硅在约1,414°C的石英坩埚中熔化。将一颗小籽晶浸入其中,并缓慢向上旋转提拉。原子按照籽晶的晶格取向在其上凝固,生长成一根长达约2米的单晶圆柱体(晶锭)。单晶至关重要:多晶硅中的晶界会散射载流子,严重损害晶体管性能。
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切割——晶锭用金刚石线锯切割成约775微米厚的晶圆(针对300毫米晶圆),然后经过研磨、抛光、蚀刻和抛光处理,达到原子级别的平整度。表面粗糙度必须控制在亚纳米级别,因为你即将在其上刻画出仅有几纳米宽的精细结构。
尺寸: 目前业界标准为300毫米(12英寸)直径;较老的晶圆厂使用200毫米。向450毫米的推进因成本问题而停滞。更大的晶圆 = 每块晶圆上可切割出更多芯片 = 单颗芯片成本更低,因为大多数加工步骤(光刻曝光除外)的成本大致按晶圆数量计算,与芯片数量无关。
芯片如何从晶圆上产出: 通过数百道制造工序——沉积、光刻、蚀刻、离子注入、化学机械抛光——同时在整块晶圆上构建晶体管和15层以上的金属互连层。步进式光刻机/极紫外光刻机一次只曝光一个掩模区域(最大约26×33毫米),步进式扫过整个晶圆。随后,芯片需经过测试(晶圆探针测试),晶圆被切割分离,合格的芯片再进行封装。
作为关注GPU供应的人,你应该了解的经济学原理:
import math
def 每片晶圆芯片数(芯片宽毫米, 芯片高毫米, 晶圆直径毫米=300, 划片槽=0.1):
# 考虑边缘损耗的标准估算
芯片面积 = (芯片宽毫米 + 划片槽) * (芯片高毫米 + 划片槽)
半径 = 晶圆直径毫米 / 2
return int(math.pi * 半径**2 / 芯片面积 - math.pi * 晶圆直径毫米 / math.sqrt(2 * 芯片面积))
def 良率(芯片面积平方厘米, 缺陷密度=0.1):
# 墨菲/泊松模型:D0单位为每平方厘米缺陷数
return math.exp(-缺陷密度 * 芯片面积平方厘米)
# H100级芯片:约814平方毫米(接近掩模版极限)
宽, 高 = 26.0, 31.3
芯片数量 = 每片晶圆芯片数(宽, 高)
良率值 = 良率(宽 * 高 / 100, 缺陷密度=0.1)
print(f"每片晶圆芯片数:{芯片数量},良率:{良率值:.1%},合格芯片数:{int(芯片数量*良率值)}")
# 每片晶圆芯片数:约60,良率:约44%,合格芯片数:约26
这就是为什么巨大的单片式芯片极其昂贵——良率随面积呈指数级衰减——也是你的MI300X采用芯粒设计的原因:AMD制造了8个较小的XCD计算芯粒(台积电N5工艺)加上I/O芯粒(N6工艺),并通过3D封装技术将它们拼接在一起。小芯片 → 单颗芯片良率高 → 筛选出坏片即可,无需直接报废一块800平方毫米的庞然大物。
缺陷密度(D0)这一个数值就基本决定了某个制程工艺是否经济可行,这就是为什么”台积电N3良率”的新闻标题足以撼动市场。