蔡司光学助力阿斯麦EUV光刻机 | AI生成和翻译
问题：ZEISS 主要做什么，特别是作为 ASML 的关键合作伙伴？
回答：
ZEISS（官方名称为 Carl Zeiss AG，通常简称为 ZEISS）是一家成立于 1846 年的德国光学和光电公司。如今，它是世界领先的高精度光学系统和组件制造商之一。
在半导体行业中——尤其是在与 ASML 的合作中——ZEISS 扮演着至关重要的角色：
- ZEISS 开发和制造极紫外 (EUV) 和深紫外 (DUV) 光学元件（反射镜和透镜元件），这些元件是 ASML 光刻机的核心。
- ASML 的 EUV 机器（世界上最先进的芯片制造工具，被 TSMC、Intel、Samsung 等公司使用）如果没有 ZEISS 的反射镜就不可能存在。这些反射镜是迄今为止制造的最大、最精密的光学反射镜（非球面，表面精度优于 100 皮米）。
- ZEISS 与 ASML 拥有 50 多年的合作伙伴关系。ZEISS 拥有 ASML 负责 EUV 开发的子公司约 24.9% 的股份，两家公司共同投资数十亿美元用于 EUV 技术。
- 除了光刻光学元件，ZEISS 的更广泛业务还包括：
- 半导体制造技术（光罩计量、修复等）
- 医疗技术（手术显微镜、眼科设备）
- 工业质量和研究（显微镜、三坐标测量机）
- 消费光学产品（索尼、诺基亚/索尼智能手机的相机镜头、眼镜镜片、天文馆投影仪等）
简而言之：ZEISS 是不可或缺的光学合作伙伴，使得 ASML 世界领先的光刻机成为可能。
参考文献：